为中国半导体行业“造血”

　　华邦化学：气体纯化设备“领跑者”

　　冲破外国垄断，这家大连企业为中国半导体行业“造血”。在成为国家级专精特新“小巨人”3年后，增容5倍的研发空间让大连华邦化学有限公司迈向“世界第一”的脚步更加坚定沉稳。2023年，出货量全国第一、世界第二；2024年一季度，新签合同金额1.2亿元，预计全年销售收入同比增长50%以上。依靠自主研发的技术，华邦化学生产的气体纯化器，已经走出了一条源自大连、领跑全国的新的细分赛道。

　　大连新闻传媒集团记者叶明睿

　　四月的大连，百花盛开，万木争春。步入华邦化学的生产车间内，一派“热气腾腾”的景象——工人们正忙着对眼前的气体纯化设备进行组装、调试，将准备交付的产品进行封装打包。加班加点在这里早已成为常态，从春节期间到现在，企业一直处于超负荷运转，手里的订单早已经排到了7月份。

　　华邦化学生产的高纯度氮气、氢气、氧气等气体纯化设备，在超大规模集成电路、平面显示器和半导体器件等生产领域是不可或缺的关键配套设备。如果说，血液是流动在人体中的“生命之海”，那么对于半导体产业来说，经纯化设备纯化后产出的电子气体就犹如“血液”，“流动”在半导体生产的多个工艺流程中。

　　此前很长一段时间里，只有美国、日本、韩国等国家能够生产气体纯化设备，产品交付时间也只能由生产厂商说了算，漫长的等待经常让许多国内半导体厂商苦不堪言。华邦化学决心改变这一局面，承担起为国内半导体行业“造血”的重任。

　　早期在石化、钢铁行业发展气体纯化的经验积累，为华邦化学快速进军高端半导体行业打下了坚实基础。经过多年的研发，从吸附材料到加工工艺的突破创新，从许多半导体生产商打算“试试看”的“备用机”到后来大家争相抢购的“主力机”，华邦化学的气体纯化器逐渐收获了半导体生产商的信任与青睐。

　　“我们生产出的气体纯化器，最高水平的产气纯度能达到99.999999%即9N，超出国家气体最高标准3个数量级，技术水平已达到国际一流。”华邦化学总经理助理刘皖南说，在行业领域内，华邦化学实现了国产替代进口同类产品的突破，打破了长期以来由国外进口气体纯化器垄断国内半导体行业市场的局面。

　　如今，距离华邦化学跻身国家级专精特新“小巨人”行列已经过去整整3年，彼时企业的研发区只有200平方米左右，研发设备总计价值400多万元；如今，新生产研发基地的研发区扩充到了1000多平方米，研发设备总价值也接近3000万元。在追求产品技术向专业化、精细化发展的道路上，他们一刻都没有放慢脚步。

　　华邦化学的气体纯化器，跑出了源自大连、领跑全国的细分赛道。

　　去年，华邦化学全年出厂500余台设备，出货量稳居全国第一、全球第二。企业所生产的高端气体纯化设备已为多项集成电路国家重点项目进行实际配套，产品在国内气体纯化细分领域中的覆盖率达85%以上，市场占有率超过5成。今年一季度，华邦化学完成近百台气体纯化器的生产任务，新签合同金额1.2亿元，目前在手订单超2亿元，预计今年销售收入同比增长50%以上。

　　冲破国外行业垄断的雾霾领跑全国后，华邦化学将目标对准了世界。“企业将在满足国内市场需求的基础上，进一步拓展海外市场，提升产品在全球市场的占有率。”刘皖南自信地表示，“未来几年内，我们将成为世界第一行业领军企业。”

　　坚持科技创新，是发展新质生产力的核心要素，也是华邦迈向“世界第一”的决心。去年9月，国内最大的气体纯化设备生产研发基地投入试生产，帮助华邦化学再上新台阶。物理空间的扩大、硬件设施的升级，让华邦化学有了大展拳脚的空间，给企业迈向“世界第一”的目标注入了强大动力。

　　“刚搬来的时候还感叹这里的组装车间够大够宽敞，但随着新基地始终保持超负荷运转，订单量的不断增大，现在也觉得这里有些拥挤了。”站在生产车间内的刘皖南向记者说道。

　　聚焦新质生产力发展，华邦化学甘心当好“配角”。过去几年来，随着国内半导体厂商的迅速崛起与突破，帮助华邦化学在订单和产值上实现了大幅跨越，同时，也催生出了质量更强、性价比更高的企业产品。未来，华邦化学将继续瞄准气体纯化行业共性关键技术攻关，对国内半导体行业先进制程进行配套，助推我国半导体行业再上新高。